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方阻測試儀

簡要描述:Filmetrics R50 是KLA電阻測試家族的最新產品。R50方阻測試儀是KLA超45年電阻測量技術地位之作。電阻測量和監控對于任何使用導電薄膜的行業都至關重要,從半導體制造到可穿戴技術所需的柔性電子產品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測均進行了優化加強。

  • 產品型號:R-50
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2023-06-09
  • 訪  問  量:895
詳情介紹
品牌其他品牌價格區間面議
檢測參數多參數儀器種類臺式
應用領域電子,航天,汽車,電氣,綜合

KLA薄膜電阻測量技術方阻測試儀包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜,跨越10個數量級范圍電阻率,包括:

半導體晶圓基板

玻璃基板

塑料(柔性)基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、方阻測試儀主要功能

l 技術規格

測量范圍:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度: +/- 1%;

重復度: 小于 0.2%;

樣品圖中無*的測量點位,自定義測量Recipe,可線性、矩形、

極坐標以及自定義等。

Model

Description

R50-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-200-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量

R50-200-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

三、應用

支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。





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