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  • 離子束沉積
    離子束沉積

    離子束沉積作為納米結構的基本組成單元,團簇或納米顆粒在納米科學中具有關鍵的地位。我們設計研制了兩套氣體聚集型團簇源:基于熱蒸發的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體聚集型團簇源。以團簇源為中心構成了團簇束流實驗和沉積系統。

    更新時間:2022-04-24型號:瀏覽量:671
  • 納米團簇束流沉積系統
    納米團簇束流沉積系統

    作為納米結構的基本組成單元,團簇或納米顆粒在納米科學中具有關鍵的地位。我們設計研制了兩套氣體聚集型團簇源:基于熱蒸發的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體聚集型團簇源。以團簇源為中心構成了團簇束流實驗和沉積系統。

    更新時間:2018-05-14型號:瀏覽量:1854
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