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了解一下三維光學輪廓儀的原理及功能吧

發布時間: 2022-11-08  點擊次數: 227次
  三維光學輪廓儀檢測設備主要對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
 
  三維光學輪廓儀檢測設備是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器,主要對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
 
  下面讓我們一起來了解一下三維光學輪廓儀的原理及功能吧
 
  原理:
 
  三維光學輪廓儀是利用白光干涉掃描技術為基礎研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它的顯著特點是可以達到納米級的檢測精度,并可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數據進行檢測,其主要用途是用于成品的質量管理,確保良品合格率。
 
  可廣泛應用于各類精密工件表面質量要求很高的如︰半導體、微機電、納米材料、生物醫療、精密涂層、科研院所、航空航天等領域??梢哉f只要是微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量,除了三維光學輪廓儀,沒有其它的儀器設備可以達到其精度要求。
 
  產品功能
 
  1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
 
  2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
 
  3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;
 
  4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
 
  5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
 
  6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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